光复用技术相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

光复用技术相关论文

基于微环谐振腔的可调谐滤波器的研究

采用深紫外光刻及等离子体刻蚀等工艺制备基于绝缘体上硅材料的环形滤波器,且微环半径仅为5μm。制备基于单微环的4通道光分插复用......

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滤波器光学器件脊形波导可调谐滤波器电光调制器光复用技术光分插复用器谐振腔可调谐深紫外光刻

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