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CMP设备兆声清洗原理及应用
从空化作用和声波流作用两方面对兆声清洗的物理原理进行深入分析,研究了兆声频率及功率对空化强度、边界层厚度、声波流速等关键......
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兆声波清洗
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化学机械平坦化
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