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小型化纳米级高精度并联机器人设计与研究
大型透射电镜可实现纳米级分辨率,理想的成像效果都需要高图像分辨率和精确的样品控制。样品控制的机械稳定性也是决定其图像空间......
学位
并联机器人
结构设计
偏置铰链
柔性铰链
运动学
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