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新型阵列式发光二级管的关键工艺研究
本文基于创新设计的阵列式LED结构,完成了器件的版图设计和绘制,通过对实验潜在的问题的分析提出了总实验方案。主要研究结果如下:......
学位
发光二极管阵列
隔离槽
介质桥
版图设计
二氧化硅掩膜
连续刻蚀
一种基于光敏BCB技术的兰格耦合器制备工艺研究
根据介质隔离兰格耦合器的结构特点,设计了基于BCB介质桥的兰格耦合器的加工工艺流程.通过对工艺流程中的关键技术和重要影响因素......
期刊
光敏BCB
光刻工艺
兰格耦合器
介质桥
介质固化
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