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本文详细介绍了大型金属卷材表面改性连续卷绕镀膜生产线的工作原理、结构组成、技术特点和主要创新设计要点.分析并指出影响大卷......
大面积 Si O2 厚膜沉积可创造很高的附加值 ,但在规模生产中会出现严重的膜层损伤。本文针对这一现象进行机理探讨。
Large area ......
采用中频磁控反应溅射工艺进行氧化铝薄膜的沉积实验,对该工艺过程中溅射电压和沉积速率与氧流量的“迟滞回线”现象进行了研究。......
利用中频反应磁控溅射技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上沉积ZrN薄膜。通过控制N/Ar、溅射功率和基体偏压等参数,得到不同实验条件的Zr......
