中频孪生靶相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

中频孪生靶相关论文

掺Yb/Er-AlO光波导放大器制备及光学特性研究

用中频孪生靶磁控溅射法沉积制备了掺铒、镱铒共掺AlO薄膜,探索了氧气氩气分压、不同衬底、镱铒共掺杂、掺杂浓度、后退火温度、退......

学位

光波导放大器光学镱铒共掺杂薄膜样品光致发光浓度净增益掺铒泵浦功率退火温度硅酸盐玻璃发光特性发光强度测量变化曲线扫描电子显微镜原子

离子束辅助中频非平衡磁控溅射制备Ti-N-C膜的研究

本文首先对Ti-N-C膜系的硬质膜的性能、制备以及检测手段进行了综述。在此基础上，采用离子束辅助中频非平衡磁控溅射技术制备了Ti／Ti......

学位

非平衡磁控溅射中频孪生靶离子束辅助沉积 Ti-N-C薄膜体结构

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