三氯化砷相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

三氯化砷相关论文

氢气还原三氯化砷制备高纯砷的工艺研究

要:高纯砷的制备方法主要有氯化-还原法、升华蒸馏法、As(OR)3热分解法、硫化-还原法等.本文以三氯化砷为原料,采用氢气还原工艺制......

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三氯化砷氢气高纯砷转化率

三氯化砷流速对外延生长砷化镓性质的影响

外延砷化镓的载流子浓度和迁移率随 AsCl_3—Ga—H_2流动系统中的三氯化砷流量而改变。业已用比较大的三氯化砷流量制成了高纯外......

期刊

三氯化砷外延生长外延层克分子载流子浓度流动系统砷化镓升/分氢气流量迁移率

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