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indium-zinc-oxide相关论文
使用铜源漏电极的非晶氧化铟锌薄膜晶体管的研究
为了实现氧化物薄膜晶体管(TFT)的低电阻布线,采用Cu作为氧化物TFT的源漏电极。通过优化成膜工艺制备了电阻率低至2.0μΩ·cm的Cu......
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thin-film transistor
indium-zinc-oxide
copper metallization
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