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ZAO靶材相关论文
ZAO靶材及其透明导电薄膜性能的研究
近年来,Al掺杂的ZnO(ZAO)透明导电氧化物薄膜,以其价格低廉、无毒性、在氢等离子气氛中性质稳定等优势,而受到研究者的广泛关注,已经成为......
学位
ZAO靶材
烧结
ZAO薄膜
衬底温度
溅射电流
电子束蒸发用ZAO靶材的制备
ZnO透明导电氧化物薄膜是现在国内外研究的热点,由于它有电阻率低、透射率高、并且Zn储量丰富、价格便宜、无毒、在氢等离子体中具......
学位
ZnO
粘合剂
保温时间
气氛
平均粒径
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