X光光刻相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

X光光刻相关论文

基于X光移动光刻技术的PMMA微透镜阵列制备

微透镜阵列的制备已经成为微光学领域的研究热点。利用两次X光移动光刻技术，以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为正光刻胶，在PMMA基板上制造......

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微透镜阵列微制造 X光光刻移动光刻 PMMA micro lens array micro fabrication X-ray lithography mo

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