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Ti-DLC相关论文
掺钛类金刚石膜的微观结构研究
采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在模具钢及单晶硅基体上制备了梯度过渡的掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,利用俄歇电子谱(AES)......
期刊
掺钛类金刚石膜
微观结构
离子源
非平衡磁控溅射
Ti-DLC
Microstructure
Ion source
Unbalanced magnetro
磁过滤阴极弧制备Ti-DLC薄膜结构和性能的研究
本文采用磁过滤阴极弧(FCVA)技术制备含钛类金刚石膜(Ti-DLC)。采用原了力显微镜(AFM)分析了薄膜表面形貌,结果表明,虽仍有少量未......
学位
磁过滤阴极弧
Ti-DLC
Raman
XPS
显微硬度
残余应力
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