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SiC单晶具有优良的物理机械性能,因而大量用于大功率器件和IC行业。但由于材料的高硬度和高脆性,使其加工过程变得很困难。金刚石......
碳化硅（SiC）单晶作为第三代主要的半导体晶体材料，以其独特的大禁带宽度、高击穿场强、高饱和电子漂移率、高热导率、强抗辐射能力和......
