SiC薄膜相关论文
随着工业技术的迅猛发展,越来越多的机械零部件需要在高温下运行,因此开发相应的高温润滑材料显得尤为重要。SiC薄膜因其优异的性......
SiC作为第三代半导体的代表,具有优良的光电特性。SiC薄膜的宽带隙、强的非线性光学响应使其在制备微电子集成和光电子器件领域前......
SiC薄膜是一种物理、化学性能优良的功能材料,具有良好的热传导率、高硬度以及化学稳定性好等优点,被广泛的应用于核防护、微电子......
锂离子电池具有能量密度高、循环寿命长和环境友好等特点,被广泛应用在便携式电器和电动汽车领域。锂离子电池的关键技术之一是开......
材料科学的各分支中,薄膜材料科学的发展一直占据了极为重要的地位。薄膜材料是相对块体材料而言的,是人们采用特殊的方法,在块体......
由于SiC的宽禁带性质,SiC制备的紫外光电探测器可在极端条件下应用于生化检测、可燃性气体尾焰探测、臭氧层监测、短波通讯以及导......
第一章综述了SiC材料基本的物理化学性质以及SiC材料和器件的研究进展.包括SiC的基本结构、同质多型、热学和光学性质、电学特性等......
本论文研究了脉冲栅控行波管中，Hf薄膜对抑制栅极电子发射所起的作用，讨论了Hf薄膜的工作机理。实验中，利用射频磁控溅射技术在Mo基底......
SiC作为一种优秀的微电子材料,以其禁带宽、饱和电子漂移速度大、临界雪崩击穿电场高和热导高的特点,在大功率、高频、耐高温、抗......
采用射频反应磁控溅射法在中国低活化马氏体(CLAM)不锈钢表面制备了单层A12O3、SiC、W薄膜以及SiC/A12O3、W/A12O3双层膜。对所制......
碳化硅在场致发射(u0006EE)应用中除了具有金刚石的一般优点之外,还具有易于n型或者p型掺杂的特性.本文用APCVD方法研制了一种SiC......
利用射频溅射法在Si衬底上制备了SiC薄膜 ,并利用x射线衍射 (XRD)和红外 (IR)吸收谱对薄膜的结构、成分及化学键合状态进行了分析 ......
单晶硅中注入高剂量的C+离子，注入能量为50keV，经高温退火后形成β-SiC沉淀，再经电化学腐蚀形成多孔β-SiC，样品表面蒸上一层半透明的......
对纳米晶SiC薄膜进行了P和B的掺杂 ,B掺杂效率比P高 ,其暗电导预前因子与激活能遵守Meyer Neldel规则 ,并有反转Meyer Neldel规则......
