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SU-8去胶相关论文
一种利用PDMS工艺解决SU-8去胶问题的方法(英文)
提出了一种解决SU 8 去胶难题的方法.该方法首先将SU- 8 微结构用PDMS进行复制,然后利用复制的PDMS微结构进行下一步的电铸,电铸完......
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