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正极薄膜材料是全固态薄膜锂离子电池中的锂离子供体,是影响电池容量的关键因素之一。聚阴离子型Li MSi O_4(M=Fe、Mn)正极材料具......
采用RF磁控溅射法在石英玻璃上制备了InGaZnO薄膜, 并对薄膜进行了真空退火实验, 探讨了沉积过程中氧气流量及真空退火温度对薄膜......
近年来,CoFeB薄膜以其低的矫顽力、低阻尼系数、高自旋极化率、高饱和磁化强度,在众多领域有着广泛的应用,特别是作为铁磁层应用于......
采用射频磁控溅射法制备了具有高饱和磁化强度的 Fe-N 薄膜。系统研究了氮气分压、基底温度，溅射功率等制备工艺条件对 Fe-N 薄膜结......
直接宽禁带半导体材料ZnO是第三代半导体材料的典型代表，其薄膜材料在光电、压电、气敏传感器、集成光学、透明导电薄膜等领域具有......
