曲面压电结构因其具有三维构形,能够实现空间信息的全向感知、响应和转换,在航空航海、工业控制、生物医学等领域得到了广泛的应用......

PZT厚膜以其驱动力强、频率范围宽、灵敏度高、兼容性强等优良性能,在航空航天、医疗诊断、电子信息等领域得到广泛应用。电射流技......

PZT厚膜具有高压电性能和机电耦合系数,在高频超声传感器、微换能器、微变形镜等高性能微器件方面具有广阔的应用前景。利用电射流......

超声换能器是一种在超声系统中进行声电转换的声学器件,其性能对超声系统至关重要。基于MEMS技术制备的压电超声换能器(Piezoelect......

采用新型sol-gel技术在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了厚度为2～60μm的PZT铁电厚膜材料;研究了PZT厚膜的结构及其介电、铁电性能.XRD......

在(100)单晶Si衬底上,采用MEMS工艺和丝网印刷方法制作了锆钛酸铅(PZT)厚膜热释电红外探测器,深入研究了PZT厚膜材料的制备方法与......