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大口径碳化硅反射镜面PVD改性工艺的研究
通过将多块不同尺寸的碳化硅平面试片以及一块口径为520 mm碳化硅凹非球面反射镜作为镜面改性工艺技术的实验平台,对大口径碳化硅......
期刊
光学工艺
大口径碳化硅反射镜
PVD改性
抛光
optical process
large-aperture SiC mirror
PVD modificati
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