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MBE生长高电阻率GaAs基InAlAs组分渐变缓冲层
研究了用分子束外延(MBE)方法,在SI-GaAs衬底上不同低温生长的台阶式组分渐变InAlAs缓冲层结构.用原子力显微镜(AFM)观测表面形貌,......
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