MEMS谐振器相关论文
MEMS谐振器作为振荡电路中的振荡器和谐振式微传感器有着广泛的应用,挤压膜阻尼是影响其性能的重要因素。然而在大克努森数下宏观......
MEMS器件微结构的运动特性影响器件的性能和可靠性。为实现微结构周期运动过程中各个时刻的旋转角度的测量,提出一种基于傅里叶梅......
微机械谐振器作为MEMS中最常见的基础部件,其尺寸常接近于微米或者微纳米级别。由于微尺度效应的影响,气体阻尼对其品质因数有着至......
对于MEMS谐振器件,品质因数是衡量其动力学特性的重要指标。高品质因数表示MEMS谐振器件振动过程中能量损耗较慢,且具有更高的灵敏......
由于谐振频率和谐振器质量呈线性关系,基于MEMS谐振器的等效机械和电路模型,可用于质量传感器应用。然而,动态模式下的MEMS谐振器......
