MEMS工艺相关论文
随着物联网和微电子技术的飞速发展,MEMS技术在与传统传感器行业紧密结合,MEMS传感器将是传感器的必然趋势,国家也高度重视MEMS传......
随着无线通讯技术在毫米波和太赫兹频段的快速发展与应用,对功率器件的输出需求也越来越大,单个的功率放大芯片难以满足大功率输出......
太赫兹技术作为最为瞩目的前沿技术之一,在国防、航天、医学、通信、食品、环境等领域具有广阔的应用前景。作为太赫兹系统的核心......
在喷墨打印技术中,压电喷墨打印技术凭借良好的液体兼容性、较高的工作频率和分辨率、较长的工作寿命和较低的工艺成本,不仅在图文......
透射电子显微镜利用电子束与样品相互作用成像,可提供原子分辨率的结构和成分信息、原子尺度的空间结构和化学成分等信息,是研究材......
小功率微波微等离子体技术是一项近几年发展起来的集微电子(纳电子)技术、微波技术和等离子体技术于一体的高新技术，它是随着MEMS技......
随着能源的日益紧张,能量收集技术备受关注,而微型传感器的发展使得能量收集器被广泛研究。其应用领域也呈现多样化,包括监测传感......
气体传感器阵列不仅能弥补单一气体传感器选择性差的缺点，还可以充分利用其交叉敏感性，并结合一定的模式识别技术，实现传感器的高精度......
学位
随着微惯性测量系统应用的日趋广泛,微小型化是微惯性测量系统发展的重要方向。本文主要通过对微惯性测量系统中加速度计和开关两......
随着人们在燃气计量管理中对计量结算的科学合理性认识的不断提高，传统的容积计量已不能满足要求，传统的流量计容易受天然气的压力和......
基于MEMS工艺加工制作的压阻式微加速度计是微惯性测量系统的关键组成部分,具有体积小、重量轻、一致性好,结构、敏感原理和检测电......
在社会的众多领域中,压力传感器都起到了很重要的作用。根据相关资料得知,压力传感器的种类很多,其中在硅质材料上完成的占大多数......
随着技术的发展与进步，克尔效应在高速摄影、光速测量等领域具有广泛的应用前景。然而，天然的克尔媒质需要较高驱动电压、极高纯度要......
本文研究了低浓度TMAH溶液对(110)和(100)面的腐蚀选择性,并测量了不同温度和浓度下对(110)和(100)面的腐蚀速率,探索了能使硅微通......
