在真空状态下，在两个石英坩埚分别装入纯In，In、Sn（Wt=10％）合金，并按所沉积膜的种类（In2O3或ITO）将某一石英坩埚装入加热器，当真空度达到要......

在室温下采用直流磁控溅射以SiO2/Si为衬底制备了不同沟道层厚度的底栅式In2O3薄膜晶体管,讨论了沟道层厚度对底栅In2O3薄膜晶体管......

采用脉冲激光沉积方法在Al2O3衬底上制备了Fe/Sn共掺杂的(In0.93Fe0.05Sn0.02)2O3薄膜,研究了沉积过程的氧气分压对薄膜结构、磁性......