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F-P滤光片相关论文
MEMS滤光片的结构设计及其有限元仿真
可调谐滤波器是光通信系统中的重要元件,但由于其体积大、调谐范围窄、响应速度慢、分辨率低和成本高等缺点,应用受到诸多限制。近......
学位
MEMS
F-P滤光片
等效刚度
压膜阻尼
有限元分析
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