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N型SiC的Ni基欧姆接触研究
对n型SiC的Ni基欧姆接触的机理进行了研究.通过在P型4H-SiC外延层上使用N离子注入来形成N阱,并在此基础上制作Ni/n型SiC欧姆接触的......
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SiC
欧姆接触
Ni
N离子注入
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Silicon Carbide
ohmic contact
Ni
N+ion implantation
carbon
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