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热电堆红外探测器具有无需额外偏置电路、无需目标物体移动、宽光谱响应、可室温工作、功耗低以及良好的性价比等一系列独特优点。......
近年来,微机电系统（MEMS）技术随着微纳机械加工技术的快速发展而一直不断发展,MEMS传感器在汽车、生物医学、电子和国防等领域的应用......
与CMOS工艺兼容的CMOS-MEMS技术将MEMS结构部分和CMOS电路做在同一块衬底上，可以实现高信噪比、制备大阵列的敏感单元，成本低，适合大......
体硅MEMS和CMOS电路的单片集成技术是提高传感器性能的有效途径,但是集成技术会对陀螺的设计和CMOS电路的设计提出更高的要求。通......
小量程压力传感器研制的主要目的是解决低压环境下的压力测量问题。结合CMOS-MEMS技术,提出了一种小量程电容式压力传感器设计方案......
