CM0S工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

CM0S工艺相关论文

一种格栅状上电极的CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器

报道了采用标准CMOS工艺制作的格栅型上电极的电容型湿度传感器,采用高分子材料聚酰亚胺作为感湿介质,铝作为金属电极.对该湿度传......

期刊

电容型湿度传感器聚酰亚胺 CM0S工艺响应时间 capacitive humidity sensor polyimide CMOS process resp

看过本文同时还关注