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BN薄膜相关论文
磁控溅射法制备BN薄膜结构和ZAO/BN/ZAO薄膜电性能研究
BN和掺铝ZnO(ZAO)同为宽禁带化合物半导体材料,两者均具有特殊的光、电特性,在透明导电、发光二极管、声表面波、压敏电阻、压电等领......
学位
压敏电阻
磁控溅射法
BN薄膜
电性能
伏安特性
BN薄膜的制备及BPXN1-X薄膜的紫外光敏特性
采用热丝和射频等离子体辅助化学气相沉积方法(HF-PECVD),以单晶硅为衬底在低温(< 500℃)条件下沉积氮化硼(BN)薄膜材料.通过傅立......
期刊
BN薄膜
HF-PECVD
低温制备
磷掺杂
紫外光探测
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