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Al)N薄膜相关论文
铝合金表面(Ti,Al)N薄膜的制备及其性能研究
铝及铝合金因其具有优异的性能,被广泛的应用于能源、交通、电子、建筑和国防工业等领域。然而,随着铝合金服役环境的日益恶劣,由......
学位
磁过滤阴极真空弧
(Ti
Al)N薄膜
结合力
摩擦性能
PVD法制备(Ti,Al)N薄膜及其性能表征
在PVD阴极电弧系统中,本文镀膜条件分别采用基片偏压为100V和电弧电流偏压为70a,在氮气压力为1、1.5和2Pa的条件下,涂膜时间设定为......
期刊
PVD法
(Ti
Al)N薄膜
性能表征
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