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AZO残靶相关论文
铝掺杂氧化锌(AZO)废弃靶材回收再利用的研究
将AZO原料粉末和AZO残靶研磨后的粉末混合,采用注浆成型和常压大气烧结工艺制备靶材,实验主要测试了相对密度、吸水率、线收缩率和......
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