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针对LED衬底材料蓝宝石在单面研磨抛过程存在的研磨一致性问题。从运动学理论出发,计算陶瓷盘上任意点的绝对运动方程;通过计算公式来判断任意点的研磨速度;揭示了研磨（抛光）盘和研磨（抛光）头角速度的变化对蓝宝石晶片研磨一致性的影响。
单面研磨抛光晶片研磨一致性研究
【摘 要】
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针对LED衬底材料蓝宝石在单面研磨抛过程存在的研磨一致性问题。从运动学理论出发,计算陶瓷盘上任意点的绝对运动方程;通过计算公式来判断任意点的研磨速度;揭示了研磨（抛光）盘
【机 构】
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天通吉成机器技术有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2017年5期
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