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智能控制算法已普遍应用于各个领域，但是在SiC外延炉中却极少用到。将目前使用最为广泛的BP神经网络模型引入到SiC外延炉加热系统中，对SiC外延炉加热电源匹配电感量进行预测，结合基于变步长搜索最大电流值的方法对频率进行自动跟踪，实现了SiC外延炉加热电源的动态匹配功能。对预测过程和电源系统进行了基于MATLAB的仿真研究，结果验证了匹配中．威号预测的精确性和动杰匹配算法的有效性一符合设计要求.