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期刊论文
Al/Ge双层膜分形晶化及阻抗特性研究
Al/Ge双层膜分形晶化及阻抗特性研究
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kkk3231
【摘 要】
:
本文用高分辨透射电镜HREM(JEOL2010)观察了Al/Ge双层膜的分形行为及其微结构特征,并采用四探针法对具有不同分形维数薄膜样品的电阻率进行了测量,获得了一些有探讨价值的实验结果
【作 者】
:
吴峰
张庶元
【机 构】
:
中国科技大学结构分析开放实验室
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
铝
锗
双层薄膜
分形晶化
阻抗
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本文用高分辨透射电镜HREM(JEOL2010)观察了Al/Ge双层膜的分形行为及其微结构特征,并采用四探针法对具有不同分形维数薄膜样品的电阻率进行了测量,获得了一些有探讨价值的实验结果
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