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AlGaAs/GaAs超晶格界面平整度的X射线双晶衍射研究
AlGaAs/GaAs超晶格界面平整度的X射线双晶衍射研究
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qepwq051
【摘 要】
:
用X射线运动学的多层膜干涉理论,模拟计算了AIGaAs/GaAs超晶格X射线双晶衍射摇摆曲线,提出了一种具有整数分子层的界面过渡层理论模型,并运用此理论研究了零级卫星峰的峰峰位的
【作 者】
:
庄岩
王玉田
等
【机 构】
:
国家光电子工艺中心中国科学院半导体研究所,国家光电子工艺中心中国科学院
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1995年5期
【关键词】
:
镓铝砷
砷化镓
超晶格
X射线
衍射
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用X射线运动学的多层膜干涉理论,模拟计算了AIGaAs/GaAs超晶格X射线双晶衍射摇摆曲线,提出了一种具有整数分子层的界面过渡层理论模型,并运用此理论研究了零级卫星峰的峰峰位的漂移,过渡层对超晶格卫星峰强度的影响以及低级卫星峰的规律性消光规律。
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