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为了解决长期困扰微细电火花加工的降低单脉冲放电能量难题，对RC脉冲电源放电特性进行了试验研究，通过一系列实验证实了RC脉冲电源放电时没有电火花维持电压现象，电火花加工可以在低于常规电火花维持电压的低电压下进行，此时的单脉冲放电能量最小可达2．5×10^-12J，使微细电火花单脉冲放电能量由过去的微焦耳级剧降到皮焦耳级，为实现超微能的纳米尺度电火花加工奠定了基础．在此基础上设计了一种新型可控的RC脉冲电源，并使用该电源加工出了直径仅为Φ4．5μm的微轴和直径仅为98μm的微孔．