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期刊论文
NTDCZSi中空位缺陷的退火研究
NTDCZSi中空位缺陷的退火研究
来源 :河北工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wushupei
【摘 要】
:
用正电子湮灭寿命谱技术研究了NTDCZSi的辐照损伤退火行为,发现辐照后的CZSi中产生了大量空位型缺陷。随着退火温度升高,这些缺陷不断分解,直到1100℃仍有极少量空位型缺陷存在。
【作 者】
:
张维连
孙军生
【机 构】
:
河北工业大学材料研究中心
【出 处】
:
河北工业大学学报
【发表日期】
:
1996年4期
【关键词】
:
中子嬗变掺杂
硅
空位型缺陷
半导体
退火
NTDCZSi Vacancy-type defects Positron annihilation lifetim
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用正电子湮灭寿命谱技术研究了NTDCZSi的辐照损伤退火行为,发现辐照后的CZSi中产生了大量空位型缺陷。随着退火温度升高,这些缺陷不断分解,直到1100℃仍有极少量空位型缺陷存在。
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