【摘 要】
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单晶硅是一种硬而脆的材料,生长完成后呈圆棒状,经加工后呈方形,用于太阳能电池的制作。切片是单晶硅片制备中的重要工序之一,为满足方形单晶硅机械加工装夹与定位的要求,在
【基金项目】
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内蒙古工业大学科学研究项目(ZD201601)
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单晶硅是一种硬而脆的材料,生长完成后呈圆棒状,经加工后呈方形,用于太阳能电池的制作。切片是单晶硅片制备中的重要工序之一,为满足方形单晶硅机械加工装夹与定位的要求,在原四爪自定心卡盘的基础上改进了卡爪的结构。为了使卡爪与工件有一定的接触面积,确保夹持可靠,同时保证工件的定位精度,将卡爪设计为直面宽卡爪结构,并将滑座和直面卡爪设计为通过螺钉连接的分离结构,而非通用的整体爪。利用UG_CAE模块对滑座与直面卡爪进行有限元分析,其结构满足使用要求。
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