【摘 要】
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前言随着四极质谱计在真空系统分压强测量中越来越广泛的应用,从各方面都对它提出了定量分析的要求。从原则上讲,如果能够确定各种气体的分压强灵敏度和它们的图样系数,定量
【机 构】
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清华大学无线电电子学系,清华大学无线电电子学系,清华大学无线电电子学系,清华大学无线电电子学系,
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前言随着四极质谱计在真空系统分压强测量中越来越广泛的应用,从各方面都对它提出了定量分析的要求。从原则上讲,如果能够确定各种气体的分压强灵敏度和它们的图样系数,定量分析的问题并没有不可克服的困难。但是理论分析和实验研究都表明,它们不仅与仪器的类型、几何参数、电参数有关,而且与仪器的工作条件和使用情况也有关。同一型号仪器的
Preface With the quadrupole mass spectrometer in the vacuum system partial pressure measurement more and more widely used, from all aspects of it proposed quantitative analysis requirements. In principle, there is no insurmountable problem of quantitative analysis if the partial pressure sensitivity of various gases and their pattern coefficients can be determined. However, theoretical analysis and experimental studies have shown that they are not only related to the type of instrument, geometric parameters, electrical parameters, but also to the working conditions and usage of the instrument. The same type of instrument
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