ITO thin films prepared by electron beam evaporation with End-Hall ion source assisted without heati

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bluelink
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
ITO (indium oxide doped with tin) thin films were deposited on glass substrates by using ITO pellet with a composition of w(In2O3)=90% and w(SnO2)=10% by electron beam evaporated with End-Hall ion source assisted without extra heating. The rate of deposition and flow rate of oxygen were measured and changed to obtain the best properties of ITO thin films. Furthermore, the post annealing process was done in vacuum at different annealing temperatures for 2 h and at 400℃ for different keeping time, respectively. The relation between optical, electrical properties and structure was discussed in detail.
其他文献
随着新课程改革的顺利推进,生物学科越来越受到重视,但很多时候都是以书面考试成绩论成败,而忽略了对学生的情感教育。新课程改革给我们指明了方向,不仅培养学生的知识和能力,学生
研究了压力10 MPa下、温度453.15~493.15 K范围内果糖在高温液态水中的无催化分解反应动力学.实验结果表明,在无任何催化剂条件下,果糖能顺利进行分解反应,且随着温度的升高,
物理研究性学习,听起来复杂,但归根结底是一种提高学生学习能力的学习方法,只不过较以往的方法更加科学,更能够培养出高素质的人才。
在计算机教学中培养学生的想象力和创造力,可以从五个方面入手:一、激发学生学习兴趣,培养学生的想象力和创造力;二、在幽默轻松的学习气氛中,培养学生掌握知识的能力;三、调动学生
A novel α-diimine Zn catalyst for copolymerization of carbon dioxide and cyclohexene oxide was synthesized with 2,6-diisopropylaniline,glyoxal,diethylzinc and
To develop beam splitters for soft X-ray laser Michelson interferometer at 13.9 nm, Mo/Si multilayers of 100 nm thickness deposited on both sides of silicon nit
本文综述了锂离子电池合金负极材料的研究现状,对比了各种合金负极材料的制备方法,并指出了合金负极材料目前面临的主要问题及现有的解决方案,最后提出纳米锂合金复合物将是
现代成像制导中所使用的红外图像往往存在着噪声大、目标-背景间灰度差较小、边缘较模糊的特点。这些特点会增加边缘提取的难度,因此必须建立更有效的红外图像边缘提取算法以
通过计算机编程建立奥氏体相中1/2[1 1 0]刃位错、奥氏体相中非形变区和形变区奥氏体/铁素体相界模型.用实空间的连分数方法计算了非形变区和形变区奥氏体/铁素体相界界面能,
提出了一种由常规光纤和色散渐减光纤构成的新的非线性光纤环形镜(NOLM).研究了该结构的动力学特性,并与色散渐减光纤(DDF)构成的环形镜进行了比较.数值结果表明,该类型光纤