基于微力传感的扫描近场声显微镜

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【摘要】

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描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM).以谐振频率为1MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样品表面,在此过程中晶振受到流体阻尼,其振动特性发生变

【作者】

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王生张鸿海汪学方徐龙

【机构】

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华中理工大学机械学院,武汉430074

【出处】

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工具技术

【发表日期】

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2000年4期

【关键词】

：

扫描近场声显微镜微力传感器分辨率

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描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM).以谐振频率为1MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样品表面,在此过程中晶振受到流体阻尼,其振动特性发生变化,通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌信息.在分析SNAM检测机理的基础上设计了SNAM系统,测量时的垂直分辨率可达到纳米级.

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