体硅和SOI材料及器件辐射加固技术评述

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介绍了当前世界上体硅和SOI材料及其器件辐射加固技术的发展现状,并介绍了主要的辐射加固CMOS IC的研制现状。 The current development of bulk silicon and SOI materials and their devices’ radiation reinforcement technology in the world are introduced, and the status quo of the development of the main radiation-hardened CMOS ICs is introduced.
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