测定微小压力用的光波干涉式压力计

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日本计量研究所试制了利用激光干涉现象测定 U 形管压力计(液柱式压力计)的液面高低差的微压计。U 形管的一端连接基准压力,另一端压力与基准之差能够用相当于百亿分之一气压的0.01mPa 精度测定。光源是输出为2 mW 的频率稳定的氦氖激光器,以不同频率射出二束在偏振面上成直交的直线偏振光。光束用扩束器扩大到直径约 Japan Institute of Metrology trial production by laser interference U-tube manometer (liquid column pressure gauge) level differential pressure gauge. One end of the U-shaped tube is connected to the reference pressure and the difference between the pressure on the other end and the reference can be measured at an accuracy of 0.01 mPa, which corresponds to one billionth of an air pressure. The light source is a frequency-stable HeNe laser with an output of 2 mW and emits two linearly polarized light beams that are perpendicular to the plane of polarization at different frequencies. Beam expansion with a beam expander to about the diameter
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