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Dependence of wet etch rate on deposition, annealing conditions and etchants for PECVD silicon nitri
Dependence of wet etch rate on deposition, annealing conditions and etchants for PECVD silicon nitri
来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wjyjiedabc
【摘 要】
:
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
【作 者】
:
Tang Longjuan
Zhu Yinfang
Yang Jinling
Li Yan
Zhou Wei
Xie Jing
Liu Yunfei
Yang Fuhua
【机 构】
:
Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China“,”State Key Laborato
【出 处】
:
城市道桥与防洪
【发表日期】
:
2009年9期
【关键词】
:
plasma enhanced chemical vapor deposition
silicon nitride
HF solution
etch rate
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该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥主桥连续预应力混凝土变截面箱梁2#~7#块、8#、8
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