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本文综述了离子束增强沉积技术的主要特点及其在制备固体润滑膜方面的最新研究结果，与传统溅射沉积技术比较，其优势在于：易于获得沿ｂａｓａｌ面的择优取向分布，膜层结构致密，膜基结合强度高，膜层耐磨损寿命大幅度提高。
离子束增强沉积技术制备MoS2固体润滑膜
【摘 要】
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本文综述了离子束增强沉积技术的主要特点及其在制备固体润滑膜方面的最新研究结果，与传统溅射沉积技术比较，其优势在于：易于获得沿ｂａｓａｌ面的择优取向分布，膜层结构致密，膜基结合强度高
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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材料科学与工程
【发表日期】
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1996年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金,中关村联合分析测试基金资助
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