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本文综合分析了立方氮化硼膜的制备方法，介绍了ｃ－ＢＮ膜的结构及其机械、电学、光学和热学性能，最后总结了ｃ－ＢＮ膜在机械和电子领域的应用概况。
立方氮化硼（c—BN）膜的制备,性能及应用
【摘 要】
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本文综合分析了立方氮化硼膜的制备方法，介绍了ｃ－ＢＮ膜的结构及其机械、电学、光学和热学性能，最后总结了ｃ－ＢＮ膜在机械和电子领域的应用概况。
【机 构】
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华中理工大学
【出 处】
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材料科学与工程
【发表日期】
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1996年3期
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