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TiO2薄膜因其具有高的催化活性、自清洁性能和微生物降解性质[1～3]而在微电子器械、光学电池、太阳能转化[4～6]等方面具有很高的应用价值. 有关TiO2薄膜或粉体的制备及相关的光催化性能的研究已有报道[7,8], 但关于其微图纹的制作还不多见. TiO2在改变基材浸润性方面具有特殊的功能, 用它可将超亲油的表面变为超亲水的表面. 这样可以用其制备亲水亲油相间的阵列微反应器[9]. 因此, 图案化二氧化钛薄膜的制备成为人们研究的热点.