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超低压双电层晶体管研究获进展
超低压双电层晶体管研究获进展
来源 :光机电信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lijie04113209
【摘 要】
:
膜晶体管(Thin-film transistors,TFTs)是一类重要的半导体器件,在平板显示、传感器等领域具有广泛的应用价值。最近几年,宽带隙氧化物半导体由于其具有低温成膜、高电子迁移率
【出 处】
:
光机电信息
【发表日期】
:
2010年12期
【关键词】
:
薄膜晶体管
双电层
超低压
氧化物半导体
高电子迁移率
低温成膜
半导体器件
平板显示
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膜晶体管(Thin-film transistors,TFTs)是一类重要的半导体器件,在平板显示、传感器等领域具有广泛的应用价值。最近几年,宽带隙氧化物半导体由于其具有低温成膜、高电子迁移率、可见光透明等优点,在薄膜晶体管领域引起了人们广泛的研究兴趣。
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