【摘 要】
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本文介绍了一种检查半导体零件硅片、掩模的新型检查显微镜的光学系统。物镜采用无限远共轭距离的平视场物镜,并具有透射、反射照明系统,微分干涉相衬装置,快速变换明、暗视
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本文介绍了一种检查半导体零件硅片、掩模的新型检查显微镜的光学系统。物镜采用无限远共轭距离的平视场物镜,并具有透射、反射照明系统,微分干涉相衬装置,快速变换明、暗视场物镜等,且附显微摄影等。
This article presents an optical system that examines a new inspection microscope for semiconductor parts, wafers and masks. Objective lens with infinite conjugate distance of the field of view of the field of vision, and with transmission and reflection system, differential interference phase contrast device, rapid change, dark field objective lens, and with micro photography.
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