等离子体腐蚀气相沉积的氮化硼

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众所周知,氮化硼是一种陶瓷材料,且有高电阻、高介电常数,并且在层方向具有很好的散热性能,无毒。氮化硼与单质晶体碳、石墨在结构类型与结构特征上都是极相应和相似的。就化学性质而论,氮化硼具有很高的稳定性。酸及强硷的溶液、氯等几乎不与它起作用。氮化硼能机械加工到精密公差和高的表面光洁度。一般的氮化硼都是热压的。为了充分利用氮化硼的电性能,提高它的强度,沈阳金属研究所正在研制气相沉积的氮化硼,并且提供了 As we all know, boron nitride is a ceramic material, and has high resistance, high dielectric constant, and in the direction of the layer has a good heat dissipation, non-toxic. Boron nitride and elemental crystal carbon, graphite in the structure type and structural characteristics are very corresponding and similar. In terms of chemical properties, boron nitride has a high stability. Acids and strong alkaline solution, chlorine and almost does not work with it. Boron nitride can be machined to precise tolerances and high surface finish. Ordinary boron nitride is hot pressed. In order to make full use of the electrical properties of boron nitride to increase its strength, Shenyang Institute of Metal Research is developing the boron nitride vapor deposition, and provides
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