【摘 要】
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通常 ,半导体工艺线上的异物检查主要是硅片抽样检查。但由制作装置等产生的大量异物 ,往往在抽样检查时遗漏。因而使制品成品率大幅度下降。因此 ,最近日立公司开发了一种能
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通常 ,半导体工艺线上的异物检查主要是硅片抽样检查。但由制作装置等产生的大量异物 ,往往在抽样检查时遗漏。因而使制品成品率大幅度下降。因此 ,最近日立公司开发了一种能全部检出工艺线上由各种因素产生的异物的监控器。新开发的ＩＳ - 15 0 0小型异物监控器采用了新开发的
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