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根据国内外现有的文献资料，介绍了化学气相沉积ＢＮ的具体制备方法，试验设备及主要原理。
化学气相沉积法制备BN
【摘 要】
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根据国内外现有的文献资料，介绍了化学气相沉积ＢＮ的具体制备方法，试验设备及主要原理。
【机 构】
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北京电子工业部１２所
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1995年1期
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