用全扩散法制作MCT

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:calvinly1989718
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使用普通P型硅片,用全扩散工艺制作MCT.除开通与关断MOS外,全部器件用常规晶闸管工艺制造.试制品主要电特性达到设计要求,说明了利用全扩散工艺制造MCT的可行性.文中讨论了适合于全扩散工艺的器件结构设计思路,报道了样品的测试结果,并对试制工作进行了简单分析. Using ordinary P-type silicon, with full diffusion process MCT. In addition to switching MOS on and off, all devices are manufactured using conventional thyristor processes. The main electrical properties of the prototype meet the design requirements, indicating the feasibility of using full diffusion process to manufacture MCT. In this paper, the design of device structure suitable for diffusion process is discussed, the test results of samples are reported, and the trial production is analyzed briefly.
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